机床采取隔振、减振诸多措施，具有抗振特性好、运动特性精确、结构刚性好及热变形小的特性，将有害的振动抑制在许可范围内。纵向采用液压传动，垂直和横向采用“伺服电机＋滚珠丝杆”机电一体化方式，稳定地实现1μｍ的微量进给。SL500/HZ型LC超精密平面磨床总体布局采用性能优良的拖板移动式，机床各运动部件刚性好、进给灵敏度高。

该机床零部件均选用优质材料制作，同时采用性能优异的十字拖扳布局。形象化操作界面，会话式编程，简单易学。其砂轮修整具有自动补偿功能。   该机床的主轴系统选用精密角接触滚动轴承支承，回转精度在1μm以下。

同时，机床还可以选配其它附件拓展加工领域，不仅广泛适用于机床、工量具、精密模具、汽车、电器行业，还适用于航空发动机、IT电子等行业。   这款超精密平磨主要是用砂轮圆周进行磨削，除用于平面、沟槽及台阶的高精度磨削外，还能够实现非平表面的成形加工。